第(2/3)页 这芥子扫描显微镜,无论从最初的理论设计,再到中间关键技术的解决,都是陈阳在指导。 按照当前研究的通用规则,这个知识产权全部都应该归属陈阳所有。 最终陈阳答应了司徒静。 “那我就却之不恭了!不过,以后若是有什么事情,还请你来去完成。比如领奖,研究合作什么的。” “好。您放心,只要不是不能解决的问题,保证不会去打扰您。”司徒静说道。 送走了司徒静! 陈阳回到办公室,再次看着手中的图纸! 薄膜机,光刻机,蚀刻机! 薄膜机相对技术含量较低,已经被突破,蚀刻机这次也已经全部突破,现在,就剩下光刻机了了! “晶圆,光刻胶,掩膜器,净化系统……” 看着这一个个难点,像是一个个钉子,目前剩下的问题不多了,只要再拔掉这几个,就可以很顺利的解决光刻机问题!有了这芥子扫描显微镜,绝对会事半功倍! …… 与此同时,整个eva联盟,都收到了龙国已经突破刻蚀机的消息! “怎么回事?之前不是说他们至少要三年之后才能突破吗?为什么这么快?是不是窃取了咱们的专利技术?”米国euv联盟委员会主席史蒂芬对着在场的众人问道。 “目前还没有消息出来。他们没有申请专利,而且,从我们这边得到的数据来看,并没有触犯咱们的相关专利。” “没有侵犯?难道他们完全走出了另外一套蚀刻机技术?” “虽然不愿意承认,但是,确实从里到外,完全是自主研发的。而且,速度,效率,良品率,都比现在的要高出很多!”山野正雄垂头丧气的说道。 第(2/3)页